全自動(dòng)傳片機(jī)
全自動(dòng)傳片機(jī)是針對(duì)晶圓的全自動(dòng)倒片、理片機(jī)；可從一個(gè)Wafer Cassette傳遞到另外一個(gè)Wafer Cassette，通過(guò)參數(shù)設(shè)定可實(shí)現(xiàn)Up Ranking、down Ranking及自定義方式傳遞，采用X、Y、Z 三軸機(jī)械走位及陶瓷手柄實(shí)現(xiàn)高精度定位，確保產(chǎn)品在傳遞過(guò)程的安全。設(shè)備可適用12寸8寸晶圓及各種標(biāo)準(zhǔn)料盒，也可訂制非標(biāo)料盒，設(shè)備采用工控機(jī)控制，15寸觸摸操作人機(jī)界面，操作簡(jiǎn)易方便。
產(chǎn)品詳情
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品特點(diǎn):
陶瓷Robot取放產(chǎn)品；
X,Y,Z三軸機(jī)械手精準(zhǔn)定位；
支持各種半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)Wafer Cassette，自動(dòng)Mapping掃描；
工控機(jī)控制，運(yùn)行穩(wěn)定；
15寸觸摸屏顯示操作，方便簡(jiǎn)潔；
參數(shù)可自由設(shè)定調(diào)用；
傳片方式有Up Ranking,down Ranking模式也可自定義模式；
固定式或手柄式Bar Code Reader讀取料盒條形碼；
可配置去離子裝置；
可訂制Sec Gem功能；
Uph>100片/小時(shí)（不含定位功能）。
注：圖文數(shù)據(jù)均以廠家提供為準(zhǔn)。
